![]() |
|
|
Технология полупроводникового кремнияДля предотвращения повышенной концентрации кремниевой пыли в воздухе и создания нормальных условий труда на переделе имеется система с аспирационными местными отсосами от бункера, дробилки, мельниц, кожухов мельниц, течки дробилки, укрытий питателей и пневмонасосов. Выброс запыленного воздуха осуществляется через фильтр (см. рис. 73) - четырехсекционный аппарат с рукавами из специальной ткани в качестве фильтрующих элементов. Предусмотрена регенерация фильтров пульсирующим потоком азота. При прохождении через фильтр кремниевые частицы осаждаются на поверхности ткани и собираются в корпусе фильтра, откуда периодически высыпаются в пылесборники. Образующаяся в процессе дробления и измельчения кремниевая пыль в производстве трихлорсилана не используется. Хлористый водород получают прямым синтезом газообразного хлора и водорода, сжигаемых в печах в соотношении, близком к стехиомет-рическому (с избытком водорода 5 %), согласно реакции: Н2 + С1, = = 2НС1 + 2530,76 кДж/кг. Исходные продукты хлор и водород подаются в печь (рис. 74). Давление хлора на выходе 3.04- 392 кПа. Водород, полученный при электролизе воды, после осушки сорбцией на цеолитах поступает на синтез под давлением 980 кПа и перед печью редуцируется до 304-392 кПа. Расход хлора и водорода контролируется регистрацией на вторичных приборах, установленных в специальном отдельном помещении. На линиях подачи водорода в печь установлены огнепреградители, к ним подведен азот для продувки печи перед пуском, после остановки и при аварийных ситуациях в печи синтеза. Соотношение расходов хлора и водорода поддерживается автоматически. Розжиг печи синтеза осуществляют при малых расходах хлора и водорода дистанционным методом путем подачи самовоспламеняющейся в присутствии воздуха смеси. Расход водорода 20-30 м3/ч. После воспламенения водорода подача самовоспламеняющейся смеси прекращается и в печь начинают подавать хлор. До установления требуемого состава хлористого водорода (95 % НО, 5 % Н2) и достижения устойчивой работы печи газ, выходящий из нее, постоянно анализируют на 170 огнепрегради* содержание водорода и хлора с последующей корректировкой расходов реагентов. Газы в период отдувки и розжига печи сбрасываются в санитарную колонну, орошаемую водой. По установлении требуемого состава хлористого водорода продукты синтеза направляются после воздушного холодильника в ресивер, рукавный фильтр и далее в реактор синтеза трихлорсилана. Для контроля факела горения смеси водорода и хлора и протекания процесса синтеза хлористого водорода в печи смонтировано смотровое окно, герметично закрытое кварцевым стеклом. Кроме того, печь снабжена двумя патрубками со встроенными в них фотоэлементами, которые при погасании факела подают сигнал на включение звуковой сигнализации и автоматическое закрытие отсечных клапанов на линии подачи в печь хлора и водорода. При остановке печи подача хлористого водорода из ресивера постепенно переводится на санитарную колонну с одновременным снижением расходов хлора и водорода в печь до их полного прекращения. Кислые стоки санитарной колонны сбрасываются в специальные сборники, затем поступают в цех переработки кислых стоков. 1Т2 В связи с тем что процесс синтеза хлористого водорода из хлора и водорода очень опасен и при создании в печи опасной концентрации может произойти взрыв, печи синтеза расположены в специальных бетонных бункерах. Пульт управления печами вынесен за пределы бункеров и располагается в специальных помещениях. Рассмотрим более подробно технологический процесс получения трихлорсилана гидрохлорированием измельченного кремния в кипящем слое и последующую конденсацию продуктов реакции (рис. 75). Поскольку процесс гидрохлорирования осуществляется за счет тепла химических реакций, перед проведением процесса при пуске реактора кремний предварительно нагревают, а затем подают хлористый водород. Нагревают кремний электрическими нагревателями, расположенными внутри реактора в потоке горячего азота, который способствует псевдоожижению. При этом теплота в слое распределяется равномерно, теплообмен интенсифицируется. При достижении 583-593 К вместо горячего азота подают хлористый водород, который поступает непрерывно в конусное днище реактора. После начала реакции и достижения температуры 593-623 К электрические нагреватели отключают. Дальнейший процесс проводится за счет выделяющейся теплоты реакции. Избыточную теплоту нейтрализуют путем орошения стекок реактора водой. Температуру процесса синтеза трихлорсилана в реакторе регулируют изменением количества подаваемой воды через регулирующий клапан. Температуру измеряют в трех точках, расположенных на равных расстояниях по высоте кипящего слоя, а регулируют по температуре средней точки. Количество кремния в реакторе поддерживают постоянным, непрерывно подавая его в нижнюю часть реактора с помощью секционного питателя с пневматическим приводом. Контроль количества кремния в реакторе оценивают по уровню кипящего слоя с помощью радиоизотопных измери |
< К СПИСКУ КНИГ > 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119 |
Скачать книгу "Технология полупроводникового кремния" (4.95Mb) |
[каталог] [статьи] [доска объявлений] [прайс-листы] [форум] [обратная связь] |
|
Введение в химию окружающей среды. Книга известных английских ученых раскрывает основные принципы химии окружающей
среды и их действие в локальных и глобальных масштабах. Важный аспект книги
заключается в раскрытии механизма действия природных геохимических процессов в
разных масштабах времени и влияния на них человеческой деятельности.
Показываются химический состав, происхождение и эволюция земной коры, океанов и
атмосферы. Детально рассматриваются процессы выветривания и их влияние на
химический состав осадочных образований, почв и поверхностных вод на континентах.
Для студентов и преподавателей факультетов биологии, географии и химии
университетов и преподавателей средних школ, а также для широкого круга
читателей.
Химия и технология редких и рассеянных элементов. Книга представляет собой учебное пособие по специальным курсам для студентов
химико-технологических вузов. В первой части изложены основы химии и технологии
лития, рубидия, цезия, бериллия, галлия, индия, таллия. Во
второй
части книги изложены основы химии и технологии скандия, натрия, лантана,
лантаноидов, германия, титана, циркония, гафния. В
третьей части книги изложены основы химии и технологии ванадия, ниобия,
тантала, селена, теллура, молибдена, вольфрама, рения. Наибольшее внимание
уделено свойствам соединений элементов, имеющих значение в технологии. В
технологии каждого элемента описаны важнейшие области применения, характеристика
рудного сырья и его обогащение, получение соединений из концентратов и отходов
производства, современные методы разделения и очистки элементов. Пособие
составлено по материалам, опубликованным из советской и зарубежной печати по
1972 год включительно.
|
|