реактора (расход 5-12 м3/ч в течение 30 мин).

Автоматическая схема контроля, управления и утилизации предусматривает сигнализацию и блокировку по давлению паров хлорсиланов в кубах ректификационных колонн; по давлению азота в клеммных коробках кубов ректификационных колонн с электроподогревом; по уровню жидкого продукта в кубах ректификационных колонн установок.

Все кубы-испарители ректификационных колонн оборудованы системой предохранительных клапанов и защитных разрывных мембран для предотвращения разрушения колонн в аварийных ситуациях.

Автоматическая схема сигнализации и блокировки работы установки обезвреживания кубовых остатков предусматривает отсечку подачи в реактор кубовых остатков при повышении температуры в реакторе > 368 К; падении давления в реакторе < 1,1 ? 10s Н/м2; падении давления азота в трубопроводе < 1,4 • 10s Н/м2; прекращении подачи электропитания (электроэнергии); прекращении подачи управляющего воздуха на приборы автоматики и контроля.

Емкости снабжены сигнализаторами верхнего уровня, позволяющими своевременно предотвратить их переполнение.

К аппаратам и емкостям, связанным с переработкой или хранением хлорсиланов, а также взрывоопасных паров и газов подведен азот.

Передел дробления и измельчения кремния снабжен местной и общеобменной приточно-вытяжной вентиляцией. Предусмотрен аспира-ционный отсос от неплотностей пылящего технологического оборудования через всасывающий рукавный фильтр типа СМУ-166А. Вентиляционные установки сблокированы с двигателями дробилки и шаровой мельницы. Установку включают за 3 мин до включения оборудования и выключают через 3 мин после остановки оборудования.

Электрическая схема мельницы предусматривает невозможность ее включения в случаях остановки вентилятора, отсасывающего пыль из кожуха мельницы; открытого положения люка кожуха; заполнения приемной камеры измельченным кремнием.

Схема автоматического контроля и управления предусматривает блокировку электродвигателя мельницы с электроприводом заслонки

395

на воздуховоде и с электродвигателем питателя шаровой мельницы; световую сигнализацию об аварийной остановке мельницы; сигнал включенного состояния.

Автоматическая схема управления процессом синтеза хлористого водорода предусматривает регулирование расходов хлора и водорода и их соотношений; сигнализацию и блокировку процесса синтеза по падению давления хлора и водорода; сигнализацию и блокировку по погасанию факела, падению давления сжатого воздуха системы автоматического контроля и управления потреблением электроэнергии.

При возникновении одной или нескольких из перечисленных аварийных ситуаций автоматически с помощью отсечных клапанов прекращается подача хлора и водорода в печь синтеза. Одновременно открывается подача азота для продувки печи на санитарную колонну. На щите безопасности КИП центрального пункта управления срабатывают звуковая и световая сигнализации, включается пневматическая сирена, расположенная на рабочем месте аппаратчика.

Технологическое оборудование, используемое в технологии полупроводникового кремния, во многих случаях имеет электрические приводы и нагревательные устройства. Обслуживание электрооборудования связано с опасностью поражения электрическим током. Электрический ток, протекающий через организм человека, воздействует на него термически, электролитически и биологически.

Термическое действие характеризуется нагревом тканей вплоть до ожогов, электролитическое - разложением органических жидкостей, в том числе разложение крови, биологическое действие электрического тока проявляется в нарушении биоэлектрических процессов и сопро- i вождается раздражением, возбуждением и параличом нервных тканей J и сокращением мышц.

Степень воздействия электрического тока на' организм человека ?

зависит от состояния нервной системы и всего организма. Так, в

состоянии возбуждения нервной системы, депрессии, болезни (особенно

болезни кожи, сердечно-сосудистой системы, нервной системы и т.д.) ;

и опьянения люди более чувствительным к воздействию протекающего 1

через организм человека тока. |

Значительную роль играет и фактор внимания. Если человек подго- 1

товлен морально к возможности поражения электрическим током, то Я

степень опасности снижается, в то время как неожиданное возденет- 1

вие электрического тока приводит к более тяжелым последствиям. |

Ток через тело человека протекает по пути наименьшего сопротивле- Т

ния, который не всегда совпадает с кратчайшим геометрическим путем. вЭто объясняется различием УЭС разных тканей тела человека. U

Так, УЭС при токе частотой 50 Гц составляет до, Ом • см: сухой кожи

396 ' 'к

2-10*; костей 1 ? Ю*-2-10»; жировой ткани (3—6)10ь; мышечной ткани 150-300; крови 100- 200.

Воздействие электрического тока начинает проявляться в зависимости от напряжения, под которое попал человек. Безопасным для человека считается напряжение до 36 В [296].

При обслуживании высокочастотных установок (например, установок бестигельной зонной плавки) появляе